碳化硅中陰陽(yáng)離子的測(cè)定
碳化硅(SiC)又名金剛砂,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通過(guò)電阻爐高溫冶煉而成。目前中國(guó)工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。碳化硅有化學(xué)性能穩(wěn)定、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好等特點(diǎn),高純度碳化硅可制造半導(dǎo)體和碳化硅纖維。碳化硅中的雜質(zhì)陰陽(yáng)離子會(huì)對(duì)其性能產(chǎn)生影響,需要進(jìn)行檢測(cè)以提高純化技術(shù)。
色譜條件
(1)常規(guī)陰離子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動(dòng)相:10 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:45℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:25 μL
前處理:樣品稀釋適當(dāng)倍數(shù)過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器和銀-鈉柱進(jìn)樣分析。
碳化硅提取液中陰離子譜圖
(2)陽(yáng)離子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流動(dòng)相:5.5 mM 甲烷磺酸
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-C-3
進(jìn)樣體積:25 μL
前處理:樣品稀釋適當(dāng)倍數(shù)過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器進(jìn)樣分析。
碳化硅提取液中陽(yáng)離子譜圖
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